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全球最大(dà)納米真空(kōng)實驗站(zhàn)落戶蘇州 集器(qì)材制(zhì)備和(hé)測試功能于一體(tǐ)

時(shí)間(jiān):2017-04-11 15:04   來(lái)源:Admin5

    世界首個(gè)集材料生(shēng)長、器(qì)件制(zhì)備、測試分析為(wèi)一體(tǐ)的納米領域大(dà)科學裝置——納米真空(kōng)互聯綜合實驗站(zhàn)正在我國江蘇蘇州工業園區(qū)建設。實驗站(zhàn)一期于2014年開(kāi)始建設,預計(jì)2018年建成,建設經費3.2億元,整個(gè)實驗站(zhàn)的總預算(suàn)為(wèi)15億元。
  正在建設中的這個(gè)納米實驗站(zhàn)是目前世界上(shàng)最大(dà)的真空(kōng)互聯科研裝置。其總體(tǐ)方案是:用總長近500米的超高(gāo)真空(kōng)管道(dào),将上(shàng)百台用于材料生(shēng)長、器(qì)件制(zhì)備、測試分析的大(dà)型儀器(qì)設備互聯,實現樣品在不同設備之間(jiān)傳送時(shí)其表面不被氧化、沾污,不被外界大(dà)氣環境所破壞。中科院蘇州納米技(jì)術(shù)與納米仿生(shēng)研究所研究員、納米真空(kōng)互聯實驗站(zhàn)常務副總指揮丁孫安說,實驗站(zhàn)通(tōng)過超高(gāo)空(kōng)間(jiān)分辨、時(shí)間(jiān)分辨、能量分辨、質量分辨等的高(gāo)端能力儀器(qì)設備,對物質的“本征性質”進行(xíng)研究,從而實現量子材料的設計(jì)、制(zhì)備和(hé)表征,後摩爾時(shí)代器(qì)件加工和(hé)測試分析,同時(shí)開(kāi)展新材料、新工藝、新結構和(hé)新功能的開(kāi)發和(hé)研究,以及形成第三代半導體(tǐ)工藝包。


  納米真空(kōng)互聯實驗站(zhàn)是依托中科院蘇州納米所,聯合清華大(dà)學薛其坤院士團隊、中科院大(dà)連化學物理(lǐ)研究所包信和(hé)院士團隊建設的。一期建設由中科院、江蘇省、蘇州市和(hé)蘇州工業園區(qū)共建,從2014年開(kāi)始建設,預計(jì)2018年建成,建設經費3.2億元。一期建成後将連接30多(duō)台設備,形成100米的真空(kōng)管道(dào)。整個(gè)實驗站(zhàn)的總預算(suàn)是15億元。
  丁孫安指出,實驗站(zhàn)力圖通(tōng)過超高(gāo)真空(kōng)條件下的互聯集成和(hé)若幹重大(dà)項目驗證,突破現有(yǒu)儀器(qì)設備的功能限制(zhì),實現材料制(zhì)備、測試分析與微納加工工藝等方面協同效應,為(wèi)科研和(hé)戰略性新興産業發展提供先進的開(kāi)放平台。
  “這個(gè)實驗裝置是在類似太空(kōng)的全真空(kōng)環境下的納米器(qì)件研發平台,相當于把現有(yǒu)的加工設備統一搬到太空(kōng)。”丁孫安說。
  “未來(lái)電(diàn)子元器(qì)件将發展到納米級,也就是納電(diàn)子,器(qì)件尺寸越來(lái)越小(xiǎo),集成度越來(lái)越高(gāo),可(kě)以提高(gāo)器(qì)件性能。但(dàn)是那(nà)麽小(xiǎo)的器(qì)件以目前的工藝還(hái)有(yǒu)很(hěn)多(duō)效應無法解決,不能完成新型器(qì)件的制(zhì)造。所以未來(lái)生(shēng)産納米甚至以下級别的器(qì)件需要一種全新的技(jì)術(shù)路線。”丁孫安說。
  “在納米科學技(jì)術(shù)研究中許多(duō)問題不能隻靠一種手段解決,需要多(duō)種手段、多(duō)台設備聯合解決。同一個(gè)材料樣品在不同設備之間(jiān)轉換,暴露在空(kōng)氣中,性能就會(huì)發生(shēng)變化,納米真空(kōng)互聯裝置把很(hěn)多(duō)設備都集中在同一個(gè)平台上(shàng),減少(shǎo)了很(hěn)多(duō)影(yǐng)響器(qì)件的因素,并且能省去很(hěn)多(duō)不必要的工藝環節,從而節約成本,器(qì)件質量也會(huì)大(dà)大(dà)提高(gāo)。”丁孫安說。
  他表示,納米真空(kōng)互聯實驗站(zhàn)不僅可(kě)以開(kāi)展硬件研制(zhì),也能開(kāi)發新的工藝,超導器(qì)件、半導體(tǐ)器(qì)件等對表面敏感的材料器(qì)件都可(kě)以在這裏制(zhì)造,可(kě)實現量子材料的設計(jì)、制(zhì)備,這樣就可(kě)以用于制(zhì)造強大(dà)的量子計(jì)算(suàn)機。科學家(jiā)可(kě)以利用這套裝置,生(shēng)産很(hěn)多(duō)更智能化、更可(kě)靠、更小(xiǎo)型的器(qì)件,可(kě)應用于通(tōng)訊、信息、人(rén)工智能等領域。由于降低(dī)了成本,未來(lái)普通(tōng)人(rén)也可(kě)以使用更高(gāo)端小(xiǎo)巧的設備。
  實驗站(zhàn)建成後将形成一個(gè)國際頂尖納米科技(jì)人(rén)才的聚集高(gāo)地,對地方經濟、科技(jì)具有(yǒu)很(hěn)強的帶動與輻射作(zuò)用;實驗站(zhàn)設備大(dà)多(duō)數(shù)需要自主研發和(hé)設計(jì)改造集成,可(kě)大(dà)大(dà)提升中國重大(dà)儀器(qì)設備的研制(zhì)水(shuǐ)平。
  中科院納米所所長楊輝說,在此建設納米真空(kōng)互聯實驗站(zhàn),是力圖通(tōng)過真空(kōng)條件下的互聯集成和(hé)若幹重大(dà)項目驗證,突破現有(yǒu)儀器(qì)設備的功能限制(zhì),實現材料制(zhì)備、測試分析與微納加工工藝等方面協同效應,為(wèi)科研和(hé)戰略性新興産業發展提供先進的、開(kāi)放性的平台。