時(shí)間(jiān):2017-04-11 15:14 來(lái)源:Admin5
正在建設中的這個(gè)納米實驗站(zhàn)是目前世界上(shàng)最大(dà)的真空(kōng)互聯科研裝置。其總體(tǐ)方案是:用總長近500米的超高(gāo)真空(kōng)管道(dào),将上(shàng)百台用于材料生(shēng)長、器(qì)件制(zhì)備、測試分析的大(dà)型儀器(qì)設備互聯,實現樣品在不同設備之間(jiān)傳送時(shí)其表面不被氧化、沾污,不被外界大(dà)氣環境所破壞。中科院蘇州納米技(jì)術(shù)與納米仿生(shēng)研究所研究員、納米真空(kōng)互聯實驗站(zhàn)常務副總指揮丁孫安說,實驗站(zhàn)通(tōng)過超高(gāo)空(kōng)間(jiān)分辨、時(shí)間(jiān)分辨、能量分辨、質量分辨等的高(gāo)端能力儀器(qì)設備,對物質的“本征性質”進行(xíng)研究,從而實現量子材料的設計(jì)、制(zhì)備和(hé)表征,後摩爾時(shí)代器(qì)件加工和(hé)測試分析,同時(shí)開(kāi)展新材料、新工藝、新結構和(hé)新功能的開(kāi)發和(hé)研究,以及形成第三代半導體(tǐ)工藝包。
“這個(gè)實驗裝置是在類似太空(kōng)的全真空(kōng)環境下的納米器(qì)件研發平台,相當于把現有(yǒu)的加工設備統一搬到太空(kōng)。”丁孫安說。
納米真空(kōng)互聯實驗站(zhàn)是依托中科院蘇州納米所,聯合清華大(dà)學薛其坤院士團隊、中科院大(dà)連化學物理(lǐ)研究所包信和(hé)院士團隊建設的。一期建設由中科院、江蘇省、蘇州市和(hé)蘇州工業園區(qū)共建,預計(jì)2018年建成,建設經費3.2億元。一期建成後将連接30多(duō)台設備,形成100米的真空(kōng)管道(dào)。整個(gè)實驗站(zhàn)的總預算(suàn)是15億元。
蘇州工業園區(qū)是全球納米領域具有(yǒu)代表性的八大(dà)産業區(qū)域之一。中科院納米所所長楊輝說,在此建設納米真空(kōng)互聯實驗站(zhàn),是力圖通(tōng)過真空(kōng)條件下的互聯集成和(hé)若幹重大(dà)項目驗證,突破現有(yǒu)儀器(qì)設備的功能限制(zhì),實現材料制(zhì)備、測試分析與微納加工工藝等方面協同效應,為(wèi)科研和(hé)戰略性新興産業發展提供先進的、開(kāi)放性的平台。